碳化矽生產的方法有很多◕▩•✘,下面介紹一種│◕▩◕。
聚合物熱分解法主要是指加熱聚矽烷等聚合物◕▩•✘,放出小單體◕▩•✘,形成Si-C骨架│◕▩◕。由熱解法制備的SiC均為b-SiC│◕▩◕。如果熱解溫度低於1100℃◕▩•✘,則為無定形SiC│◕▩◕。 氣相法是用含矽的原料和含碳的原料透過氣相反應生成SiC│◕▩◕。根據加熱方式的不同可分為電阻爐和火焰加熱法╃₪✘✘、等離子和電弧加熱法╃₪✘✘、鐳射加熱法等│◕▩◕。
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